Hochschulschrift
Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
142 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Schlagwort
-
Ätzen
Halbleitertechnologie
Prozesssimulation
Dreidimensionale geometrische Modellierung
Triangulation
Level-Set-Methode
Ätzen ; Halbleitertechnologie ; Prozesssimulation ; Dreidimensionale geometrische Modellierung ; Triangulation ; Level-Set-Methode
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:29 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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