Hochschulschrift
Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
142 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Ätzen
Halbleitertechnologie
Prozesssimulation
Dreidimensionale geometrische Modellierung
Triangulation
Level-Set-Methode
Ätzen ; Halbleitertechnologie ; Prozesssimulation ; Dreidimensionale geometrische Modellierung ; Triangulation ; Level-Set-Methode
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:29 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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