Effect of Annealing Ferroelectric HfO₂ Thin Films: In Situ, High Temperature X-Ray Diffraction

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Advanced Electronic Materials, Erscheinungsjahr: 2018, Jahrgang: 4, Heft: 7, Seiten: 1800091-1-1800091-10, E-ISSN: 2199-160X

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Technische Universität Dresden
(wann)
2022
Urheber
Park, Min Hyuk
Chung, Ching-Chang
Schenk, Tony
Richter, Claudia
Opsomer, Karl
Detavernier, Christophe
Adelmann, Christoph
Jones, Jacob L.
Mikolajick, Thomas
Schroeder, Uwe

URN
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-804990
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:52 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Park, Min Hyuk
  • Chung, Ching-Chang
  • Schenk, Tony
  • Richter, Claudia
  • Opsomer, Karl
  • Detavernier, Christophe
  • Adelmann, Christoph
  • Jones, Jacob L.
  • Mikolajick, Thomas
  • Schroeder, Uwe
  • Technische Universität Dresden

Entstanden

  • 2022

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