Ranking routes in semiconductor wafer fabs

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
1 Online-Ressource.
Sprache
Englisch

Erschienen in
Ranking routes in semiconductor wafer fabs ; volume:13 ; number:1 ; day:15 ; month:8 ; year:2023 ; pages:1-12 ; date:12.2023
Scientific reports ; 13, Heft 1 (15.8.2023), 1-12, 12.2023

Urheber
Gupta, Shreya
Hasenbein, John J.
Kim, Byeongdong
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1038/s41598-023-39187-2
URN
urn:nbn:de:101:1-2024020112233213586365
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:34 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte

  • Gupta, Shreya
  • Hasenbein, John J.
  • Kim, Byeongdong
  • SpringerLink (Online service)

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