Monografie
Entwicklung einer Anlage zur thermischen Atomlagenabscheidung von nanoskaligen Metalloxiden auf poröse Substrate
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1111910618
Thema
Atomlagenabscheidung; Substrat; Beschichten; Beschichtung; Wafer; Nanoröhre; Halbleiter; Halbleiterbauelement; Halbleiterelektronik; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:52 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Sobel, Nicolas Benedikt Markus
- Hess, Christian
- Schneider, Jörg
- Nielsch, Kornelius
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