Entwicklung von passiven und aktiven, planaren SiO2 Wellenleitern auf Silicium mittels rapid thermal annealing
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
In: Kurzreferate / 73. Glastechnische Tagung, Halle (Saale), vom 31. Mai bis 2. Juni 1999 / Deutsche Glastechnische Gesellschaft e.V. - Frankfurt/Main, 1999, S. 277-280
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Wellenleiter ; Silicium ; Tempern
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Saarbrücken
- (who)
-
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
- (when)
-
2010
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-29701
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 11:01 AM CEST
Data provider
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Associated
- Mennig, Martin
- Gier, Andreas
- Berni, Anette
- Schmidt, Helmut
- Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Time of origin
- 2010
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