Abtragen von Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183609024
3183609029
Dimensions
21 cm
Extent
XIII, 118 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 109 - 118

Bibliographic citation
Fortschritt-Berichte VDI / 2 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 609, Reihe 2

Keyword
Silicium
Polykristall
Laserablation
Ultrakurzer Lichtimpuls
Femtosekundenbereich
Mikrosystemtechnik

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
2002
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:38 PM CEST

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Time of origin

  • 2002

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