Hochschulschrift
Herstellung und Untersuchung von (Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 99 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2001
- Schlagwort
-
Dynamisches RAM
Dielektrische Schicht
Dünne Schicht
Bariumtitanat
Strontiumtitanat
MOCVD-Verfahren
- Urheber
-
Hornik, Karl
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:48 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hornik, Karl
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