Hochschulschrift | Online-Publikation
Silicium aus der Gasphase : Optimierung der Gasphasenabscheidung von Silicium aus Silan
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bielefeld, Univ, Diss., 2002
- Schlagwort
-
Silicium
CVD-Verfahren
Silan
Ausgangsmaterial
Prozessführung
- Urheber
-
Hofstätter, Michael
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:361-3740
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:27 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
- Hofstätter, Michael
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