Monografie
Silicium aus der Gasphase : Optimierung der Gasphasenabscheidung von Silicium aus Silan
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bielefeld, Univ, Diss., 2002
- Identifier
-
967060109
Thema
Silicium ; CVD-Verfahren ; Silan ; Ausgangsmaterial ; Prozessführung ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Hofstätter, Michael
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:52 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Hofstätter, Michael
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