Monografie

Electron paramagnetic resonance of process induced defects in silicon

Sprache
Englisch
Umfang
122 S.
Anmerkungen
Paderborn, Univ., Diss., 2001
Identifier
962103217

Thema
Silicium ; Siliciumdioxid ; Grenzfläche ; Störstelle ; EDESR ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Langhanki, Bertram

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
16.08.2023, 18:23 MESZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Langhanki, Bertram

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