Zeitaufgelöste STM-Untersuchungen der Eisensilizidbildung bei Gasphasenabscheidung auf Siliziumoberflächen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183301096
3183301091
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 152 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 147 - 152
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 301, Reihe 9
- Schlagwort
-
Eisendisilicid
Dünne Schicht
CVD-Verfahren
Rastertunnelmikroskopie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1999
- Urheber
-
Dorna, Volker
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:03 MESZ
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Beteiligte
- Dorna, Volker
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1999
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