Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
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2520-8128
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
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online resource.
- Erschienen in
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Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces ; volume:4 ; number:3 ; day:18 ; month:8 ; year:2021 ; pages:175-180 ; date:9.2021
Nanomanufacturing and metrology ; 4, Heft 3 (18.8.2021), 175-180, 9.2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
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SpringerLink (Online service)
- DOI
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10.1007/s41871-021-00114-6
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2021112706271043806339
- Rechteinformation
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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15.08.2025, 07:39 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Supreeti, Shraddha
- Schienbein, Ralf
- Feßer, Patrick
- Fern, Florian
- Hoffmann, Martin
- Sinzinger, Stefan
- SpringerLink (Online service)