Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2520-8128
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Development and Implementation of a Rotating Nanoimprint Lithography Tool for Orthogonal Imprinting on Edges of Curved Surfaces ; volume:4 ; number:3 ; day:18 ; month:8 ; year:2021 ; pages:175-180 ; date:9.2021
Nanomanufacturing and metrology ; 4, Heft 3 (18.8.2021), 175-180, 9.2021

Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/s41871-021-00114-6
URN
urn:nbn:de:101:1-2021112706271043806339
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:39 MESZ

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