Monografie
Manipulation der Materialeigenschaften von atomar abgeschiedenen Oxid-Dünnschichten mit elektrischem Feld : experimentelles und computergestütztes Design
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1238142079
Thema
Dünne Schicht; Ausgangsmaterial; Spannungstensor; Atomlagenabscheidung; Substrat; Plasma
Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.22032/dbt.49206
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:56 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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