Copper oxide atomic layer deposition on thermally pretreated multi-walled carbon nanotubes for interconnect applications
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
In: Microelectron. Eng. 107, 223-228 (2013). Digital Object Identifier: 10.1016/j.mee.2012.10.026
- Keyword
-
Atomschichtepitaxie
Kohlenstoff-Nanoröhre
Diketonate
Kupfer
Kupferoxide
Metallisierungsschicht
ULSI
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
2013
- Creator
-
Melzer, Marcel
Waechtler, Thomas
Müller, Steve
Fiedler, Holger
Hermann, Sascha
Rodriguez, Raul D.
Villabona, Alexander
Sendzik, Andrea
Mothes, Robert
Schulz, Stefan E.
Zahn, Dietrich R. T.
Hietschold, Michael
Lang, Heinrich
Gessner, Thomas
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-114172
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:41 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Melzer, Marcel
- Waechtler, Thomas
- Müller, Steve
- Fiedler, Holger
- Hermann, Sascha
- Rodriguez, Raul D.
- Villabona, Alexander
- Sendzik, Andrea
- Mothes, Robert
- Schulz, Stefan E.
- Zahn, Dietrich R. T.
- Hietschold, Michael
- Lang, Heinrich
- Gessner, Thomas
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Time of origin
- 2013
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