Copper oxide atomic layer deposition on thermally pretreated multi-walled carbon nanotubes for interconnect applications
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
In: Microelectron. Eng. 107, 223-228 (2013). Digital Object Identifier: 10.1016/j.mee.2012.10.026
- Schlagwort
-
Atomschichtepitaxie
Kohlenstoff-Nanoröhre
Diketonate
Kupfer
Kupferoxide
Metallisierungsschicht
ULSI
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Chemnitz
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (wann)
-
2013
- Urheber
-
Melzer, Marcel
Waechtler, Thomas
Müller, Steve
Fiedler, Holger
Hermann, Sascha
Rodriguez, Raul D.
Villabona, Alexander
Sendzik, Andrea
Mothes, Robert
Schulz, Stefan E.
Zahn, Dietrich R. T.
Hietschold, Michael
Lang, Heinrich
Gessner, Thomas
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-114172
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:41 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Beteiligte
- Melzer, Marcel
- Waechtler, Thomas
- Müller, Steve
- Fiedler, Holger
- Hermann, Sascha
- Rodriguez, Raul D.
- Villabona, Alexander
- Sendzik, Andrea
- Mothes, Robert
- Schulz, Stefan E.
- Zahn, Dietrich R. T.
- Hietschold, Michael
- Lang, Heinrich
- Gessner, Thomas
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Entstanden
- 2013
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