Hochschulschrift
Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung
- Weitere Titel
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Sublimation cutting of silicon with ultrashort pulsed laser radiation
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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In: Aachen : Apprimus Verlag, 2016
RWTH Aachen University, Dissertation, 2016
- Schlagwort
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Silicium
Laserablation
Ultrakurzzeitlaser
Sublimation
Impulslaser
Silicium
Strahlung
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Aachen
- (wer)
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Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (wann)
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2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
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urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2016-066315
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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15.08.2025, 07:33 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Fornaroli, Christian
- Poprawe, Reinhart
- Klocke, Fritz
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Entstanden
- 2016