Hochschulschrift

Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

Weitere Titel
Sublimation cutting of silicon with ultrashort pulsed laser radiation
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
In: Aachen : Apprimus Verlag, 2016
RWTH Aachen University, Dissertation, 2016

Schlagwort
Silicium
Laserablation
Ultrakurzzeitlaser
Sublimation
Impulslaser
Silicium
Strahlung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2016
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Poprawe, Reinhart
Klocke, Fritz

URN
urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2016-066315
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:33 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2016

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