- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Bibliographic citation
-
In: Journal of Vacuum Science & Technology (JVST) : an AVS journal#B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena, Erscheinungsjahr: 2019, Jahrgang: 37, Heft: 3, Seiten: 032202-1-032202-4, E-ISSN: 2166-2746
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Technische Universität Dresden
- (when)
-
2022
- Creator
-
Neuber, Markus
Storbeck, Olaf
Langner, Maik
Stahrenberg, Knut
Mikolajick, Thomas
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-811378
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:30 AM CEST
Data provider
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Associated
- Neuber, Markus
- Storbeck, Olaf
- Langner, Maik
- Stahrenberg, Knut
- Mikolajick, Thomas
- Technische Universität Dresden
Time of origin
- 2022
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