- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Journal of Vacuum Science & Technology (JVST) : an AVS journal#B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena, Erscheinungsjahr: 2019, Jahrgang: 37, Heft: 3, Seiten: 032202-1-032202-4, E-ISSN: 2166-2746
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2022
- Urheber
-
Neuber, Markus
Storbeck, Olaf
Langner, Maik
Stahrenberg, Knut
Mikolajick, Thomas
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-811378
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:30 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Neuber, Markus
- Storbeck, Olaf
- Langner, Maik
- Stahrenberg, Knut
- Mikolajick, Thomas
- Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2022
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