Deposition and characterization of multi-functional, complex thin films using atomic layer deposition for copper corrosion protection
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Universität Stuttgart, Dissertation, 2022
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Thin films
Atomic layer deposition
Copper--Corrosion
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
- (wann)
-
2022
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.18419/opus-12286
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-123032
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:19 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Dogan, Gül
- Schütz, Gisela
- Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Entstanden
- 2022
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