Hochschulschrift

System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939890232
Maße
21 cm
Umfang
147 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.

Erschienen in
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 467

Schlagwort
Halbleiterindustrie
Fabrikplanung
Fertigungsanlage
Integration
Operations Management
Anlagenbau ; Halbleiter ; Fertigung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Heimsheim
(wer)
Jost-Jetter
(wann)
2007
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:22 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2007

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