Hochschulschrift
System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783939890232
- Maße
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21 cm
- Umfang
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147 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
- Erschienen in
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IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 467
- Schlagwort
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Halbleiterindustrie
Fabrikplanung
Fertigungsanlage
Integration
Operations Management
Anlagenbau ; Halbleiter ; Fertigung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:22 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Dreiss, Philipp
- Jost-Jetter
Entstanden
- 2007