Hochschulschrift

System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939890232
Dimensions
21 cm
Extent
147 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.

Bibliographic citation
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 467

Keyword
Halbleiterindustrie
Fabrikplanung
Fertigungsanlage
Integration
Operations Management
Anlagenbau ; Halbleiter ; Fertigung

Event
Veröffentlichung
(where)
Heimsheim
(who)
Jost-Jetter
(when)
2007
Creator

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Last update
11.06.2025, 2:22 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2007

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