Hochschulschrift
System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783939890232
- Dimensions
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21 cm
- Extent
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147 S.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
- Bibliographic citation
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IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 467
- Keyword
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Halbleiterindustrie
Fabrikplanung
Fertigungsanlage
Integration
Operations Management
Anlagenbau ; Halbleiter ; Fertigung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:22 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Dreiss, Philipp
- Jost-Jetter
Time of origin
- 2007