Hochschulschrift
Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783860730058
3860730053
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
125 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990
- Bibliographic citation
-
Aachener Beiträge zur Lasertechnik ; Bd. 6
- Keyword
-
Wafer
Röntgenlithografie
Pinch
Plasmafokus
Röntgenstrahlung
Pulsgenerator
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Verl. der Augustinus-Buchh.
- (when)
-
1991
- Creator
-
Richter, Franz
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:42 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Richter, Franz
- Verl. der Augustinus-Buchh.
Time of origin
- 1991
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