Hochschulschrift
Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783860730058
3860730053
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
125 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990
- Erschienen in
-
Aachener Beiträge zur Lasertechnik ; Bd. 6
- Schlagwort
-
Wafer
Röntgenlithografie
Pinch
Plasmafokus
Röntgenstrahlung
Pulsgenerator
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Verl. der Augustinus-Buchh.
- (wann)
-
1991
- Urheber
-
Richter, Franz
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:42 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Richter, Franz
- Verl. der Augustinus-Buchh.
Entstanden
- 1991
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